有色金属材料与工程  2024, Vol. 45 Issue (1): 49-58    DOI: 10.13258/j.cnki.nmme.20221025002   PDF    
形变热处理对Ti-Nb-Zr合金组织及超弹性行为的影响
江鸿, 唐娇娇    
上海理工大学 材料与化学学院, 上海 200093
摘要:Ti-Nb-Zr合金具有低弹性模量、高强度以及优异的生物相容性,在生物医用材料领域备受关注。Ti-Nb-Zr合金的超弹性归因于β↔α″相变。综述了Ti-Nb-Zr合金的弹性模量和超弹性的影响因素及变化规律。通过添加合金元素来调整相变温度和滑移临界应力,应力诱发马氏体相变更易发生,β相塑性变形延迟出现,获得更大的相变应变和恢复应变。总结了Ti-Nb-Zr合金的形变热处理与超弹性效应之间的关系和作用机制。冷轧后短时间热处理可以增加位错滑移的临界应力、避免其他相(ω或α相)的生长,保持β相的稳定性、提高合金的恢复应变和超弹性。
关键词Ti-Nb-Zr合金    形变热处理    超弹性    弹性模量    马氏体相变    
Effect of thermomechanical treatment on microstructure and superelastic behavior of Ti-Nb-Zr alloys
JIANG Hong, TANG Jiaojiao    
School of Materials and Chemistry, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China
Abstract: Ti-Nb-Zr alloys have attracted much attention in the field of biomedical materials due to their low elastic moduli, high strengths and excellent biocompatibility. The superelasticity of Ti-Nb-Zr alloy is attributed to the β↔α″ transformation. The influencing factors and variation regularity on the elastic moduli and superelasticity of Ti-Nb-Zr alloys were reviewed. By adding alloying elements to adjust the phase transition temperature and critical slip stress, the stress-induced martensitic transformation more easily occurs, the occurrence of β phase plastic deformation is delayed, resulting in larger phase transformation strain and recovery strain. The relationship and affecting mechanism between thermomechanical treatment and superelasticity of Ti-Nb-Zr alloys were summarized. Short-time heat treatment after cold rolling can increase the critical stress for dislocation slip, avoid the growth of the other phase (ω phase or α phase), maintain the β phase stability, and improve the recovery strain and superelasticity.
Key words: Ti-Nb-Zr alloy    thermomechanical treatment    superelasticity    elastic modulus    martensitic transformation    

随着生物组织修复和替代材料需求的日益增长,人体植入材料进入了快速发展阶段。外科植入物和矫形器械对其生物医用替代材料的性能要求较高,一般要求材料具备良好的生物相容性、综合力学性能和加工性能。钛及钛合金因其满足作为生物医用替代材料的上述要求,得到了广泛应用[1]。生物医用替代材料还需要具有较低的弹性模量(接近人体骨骼的弹性模量,一般为15~30 GPa),以保证向周围骨骼传递足够的应力。为此,许多研究人员致力于低弹性模量生物材料的研究工作[2-4]

作为人体植入的替代材料,医用钛合金不能含有对人体有害的合金元素,否则人体很容易出现过敏反应;还应具备与人体皮骨相匹配的容许应变和弹性模量。如果材料的弹性模量过高,与生物体不相匹配,容易引发“应力屏蔽”效应,会导致植入失效或者二次伤害[5]。根据发展历程,可将医用钛及钛合金划分为3个时期:α钛合金、α+β钛合金、β钛合金。其中,α钛合金是以纯钛和Ti6Al4V钛合金为代表的合金;α+β钛合金是以Ti5Al2.5Fe钛合金和Ti6Al4V钛合金为代表的合金;β钛合金是以具有无毒、低弹性模量钛合金为代表的合金。其中,研究人员已经开发出了Ti-Nb系、Ti-Nb-Zr系、Ti-Zr-Nb系、Ti-Nb-Zr-Ta系、Ti-Nb-Ta-Zr系等新型β钛合金。β钛合金无毒,作为医用替代材料植入人体后不易出现炎症等不良影响[6-7]。动物实验发现,Mo的加入容易引发不良的组织反应。而合理加入生物相容性元素Nb、Zr等,可以明显降低材料的组织反应。

Nb是β钛合金稳定元素,在β钛合金中无限固溶。Nb不仅能提高β钛合金的热加工性能,还能改善β钛合金的冷加工塑性。同时,Nb能影响Ti基合金热弹性马氏体相变(β→α″)的起始温度(Ms)。β相和α″相的点阵关系如图1所示[8]。Ti-Nb合金马氏体相变应变在[011]β晶向取得最大值。图2为Ti-Nb合金中Nb含量与马氏体相变应变和Ms的关系[9]。在Ti-Nb合金中,增加Nb含量,马氏体相变应变的平均值降低,最大值也降低。其中,Ti-16Nb合金相变应变达5%。Ti-Nb二元合金中,Nb的原子分数每增加1%,Ms降低约40 ℃[10]。当Nb的原子分数<23%时,Ti-Nb合金的Ms高于100 ℃,则Ti-Nb合金为高温形状记忆合金[11]。当Nb的原子分数>25%时,Ms在室温以上,则合金表现出良好的超弹性,但此时的合金也具有较高的弹性模量,因此,需要加入Zr等稳定β相的合金元素,以达到降低Ms的目的。

图 1 β相和α″相的点阵关系[8] Fig. 1 Schematic illustration of the lattice correspondence between β and α″ phases[8]

图 2 Nb含量和马氏体相变应变及Ms的关系[9] Fig. 2 Nb content dependence of the transformation strain and Ms[9]

Zr是中性元素,在β钛合金中有较大的固溶度。Zr取代Nb,相组成由单一的β相转变为α″相和β相共存,使得三元TNZ(Ti-Nb-Zr)合金的超弹性得到改善。Zhang等[12]通过Zr取代Nb,制备了Ti-(26-z)Nb-zZr(z=2, 6, 8, 10)合金。Ti-20Nb-6Zr合金由少量α″相、β相以及非热ω相组成,发生了应力诱导β→α″转变,合金表现出的最佳恢复应变高达5%的超弹性。如图3所示,增加Zr含量,降低Ms,提高合金的最大恢复应变,使合金具有稳定的形状记忆效应和超弹性[13]。结合图4可以看出,Ti-22Nb-(2, 6)Zr合金[13]的应力–应变曲线出现双屈服现象,表明该合金具有形状记忆效应或超弹性。此外,Ti-22Nb-(4, 6)-Zr合金的最大应变高达4.3%,比Ti-26Nb合金(3.0%)增加了1.3%。Nb、Zr的加入,可以改善合金的弹性模量。Ti-(5, 10, 15)Nb-9Zr合金和Ti-(5, 10, 15)Nb[14]合金经过固溶、冷轧后,发现Nb、Zr可以引起合金的晶格膨胀,此外,合金内还存在少量的α″相,这使得Ti-15Nb-9Zr合金获得低弹性模量(39 GPa)和高抗拉强度(850 MPa)相匹配的综合力学性能。

图 3 由Ti-22Nb-(2, 4, 6)-Zr合金的应力–应变和应变–温度曲线估算的Ms和Zr含量的关系[13] Fig. 3 Zr content dependence of Ms estimated by stress-strain and strain-temperature curves of Ti-22Nb-(2, 4, 6)Zr alloys[13]

图 4 Ti-22Nb-(2, 6, 8)Zr合金在室温下的应力–应变曲线[13] Fig. 4 Stress-strain curves of Ti-22Nb-(2, 6, 8)Zr alloys obtained at room temperature [13]

Zr、Nb是无毒、无过敏性元素,也是医用钛合金的常用添加元素。钛合金中同时加入Nb和Zr,能够降低钛合金的Ms,稳定β相,抑制淬火过程中α''相和ω相的形成,阻碍时效过程中亚稳β相的分解和α相的析出[15]。添加稳定α相置换元素,意味着α相的体积分数增加,但不利于合金获得较低的弹性模量;而添加稳定β相的合金元素,则促进合金降低弹性模量[16-18]

TNZ合金具有无毒、耐磨性高、优异的耐生物腐蚀降解性能、与人体骨组织接近的弹性模量等优点,有利于避免发生“应力屏蔽”效应,防止骨密度下降,以及降低植入失败率[19]。添加Nb、Zr等无毒元素合金化的β钛合金成为人体硬组织修复的替代材料。同时,TNZ合金具有一定的超弹性和形状记忆效应,进一步拓宽了其在生物医用领域中的应用。开发由无毒元素组成且具有较高超弹性的β钛合金已成为医用钛合金的研究热点。

目前,已经开发了许多在室温下具有超弹性和形状记忆效应的β钛合金,如Ti-Nb系合金,然而,这些合金的弹性模量与人骨的依旧存在一定差距,其超弹性回复率较低。因而,如何使TNZ合金同时获得低弹性模量和良好的超弹性是亟需解决的问题。

1 形变热处理对TNZ合金组织的影响

合金通过形变热处理来实现强韧化,主要是进行变形处理和时效处理,使得变形后的和时效后的组织相结合,以达到提高合金强度并改善合金塑性的目的。依据稳定化元素含量和形变热处理工艺的不同,β钛合金具有不同类型的相,包括:两种稳定相(β相、α相)和三种不稳定的相(即α′相、α″相、ω相)。钛合金经过高温后淬火,ω相形成非热ω相,而经过中间温度热处理后形成等温ω相,其中,非热ω相和等温ω相是六方结构。在淬火后的合金组织内,β相会转变为α′相或α″相,α′相为六方结构,α″相为正交结构。β钛合金中β相的稳定性、β相滑移所需的临界应力(σCSS)、诱发马氏体相变所需的临界应力(σSIM)和织构等共同影响合金的超弹性,降低σSIM可以增大应力诱发马氏体相变发生的几率。为了改善钛合金的超弹性,需要提高σCSS/σSIM值,即提高σCSS值或降低σSIM值。

钛合金中各相的弹性模量大小[20-21]:ω>α>α′>>α″>β。抑制钛合金中的ω相,有利于降低钛合金的弹性模量,影响β相的稳定性及其超弹性。析出ω相或α相会使β相的稳定元素富集而实现β相的化学稳定。这种化学稳定使Ms降低,超弹性也将因此消失。因此,利用合金化元素抑制ω相。目前,三元或四元医用β钛合金的应用较为广泛。多组元合金易形成成分偏析,导致合金的力学性能达不到预期效果。采用形变热处理,极易形成位错和晶界,进而影响ω相析出。通过获得细小的β相晶粒以大幅度地增加位错滑移的临界应力,尽可能地避免其他相(ω相或α相)的生长来保持β相的化学稳定性。

退火温度、退火时间、时效时间等因素影响TNZ合金内部的微观组织和析出相。经过不同时间的时效处理后,TNZ合金内ω相的尺寸、分布及体积分数也不同,获得的超弹性也不同。Ti-19Nb-14Zr合金[22]时效300 ℃/(10 min~20 h)后经DSC相变曲线分析出Ms和Mf(马氏体转变终了温度)均高于室温,预期试样经时效后主要由α″相组成。高温淬火形成的非热ω相极大地抑制了β相→α″相的转变。同时,在Ti-19Nb-14Zr合金中,延长时效时间,可以促进等温ω相体积分数的增加。同时,正向马氏体相变能减小,等温ω相也抑制β相→α″相转变。因此,Ti-19Nb-14Zr合金经时效处理(20 h)时发生两种相变:β相→等温ω相、非热ω相→α″相。Ti-19Nb-14Zr合金(时效10 min)经过5次循环加载-卸载实验,表现出完美的形状记忆效应,获得了约6%的非马氏体超弹性,如图5所示。Ti-19Nb-14Zr合金在ω+β相与沉淀硬化和(或)加工硬化的组合中获得非马氏体超弹性。

图 5 不同热处理状态下的循环加载–卸载的应力–应变曲线[22] Fig. 5 Stress-strain curves of cyclic loading-unloading under different heat treatment states[22]

通过改变退火时间来调整TNZ合金的晶粒尺寸、第二相的析出等,进而改善TNZ合金的力学性能。Kim等[23]研究了晶粒尺寸对Ti-Nb合金力学性能的影响。随着晶粒尺寸的增大,合金的屈服应力和塑性分别减小和增大。Ma等[24]研究了Ti-19Nb-9Zr合金进行变形量高达90%的冷轧处理和退火处理后的组织结构,对该合金在700 ℃分别进行10、20、40、80 min的退火处理。研究发现,延长退火时间,Ti-19Nb-9Zr合金的断裂应变减小。并推测出,形变热处理Ti-19Nb-9Zr合金的塑性随着退火时间的延长而降低。这可能与合金内非热ω相的存在有关。较长退火时间后淬火有助于增大晶粒尺寸,并利于形成非热ω相。Ti-19Nb-9Zr合金经700 ℃/10 min的退火处理后获得良好的塑性,断裂应变高达26.3%,并且抗拉强度为555 MPa。结果与Min等[25]的研究结果一致,非热ω相的形成对钛基合金的力学性能有很大的影响,因为它导致强度大幅增加,而塑性大幅降低。同样,钛基合金仅经时效处理后也析出了等温ω相[26]。此外,微裂纹和位错的形成也影响着TNZ合金的超弹性。放电等离子烧结制备Ti-24Nb-XZr(X=0, 2, 6)合金[27],烧结的Ti-24Nb合金中的α″相中存在明显的微裂纹。而Ti-24Nb-6Zr合金中的α″相没有形成微裂纹。在循环压缩实验中,微裂纹和位错的形成导致Ti-24Nb合金的恢复应变显著降低,而烧结Ti-24Nb-6Zr合金获得了较好且稳定的恢复应变,即4.11%的最佳恢复应变,具备更稳定的超弹性和形状记忆性能(见图6)。

图 6 烧结态合金的循环压缩曲线[27] Fig. 6 Cyclic compressive curves of the as-sintered alloys[27]
2 形变热处理对TNZ合金性能的影响 2.1 超弹性

在外力作用下,材料产生应变,而在失去外力的作用后,材料又发生自动恢复,这一现象就是超弹性。通过改变应力、改变相变的热力学条件,使马氏体相变易于发生。β钛合金出现超弹性的条件是可逆的应力诱发马氏体相变,即β→α″及其逆相变。对β钛合金进行加载–卸载的过程,如图7所示[28]

图 7 可逆马氏体相变超弹性示意图[28] Fig. 7 Schematic illustration of superelasticity driven by reversible martensitic transformation[28]

合金表现出超弹性取决于其相变温度和测试温度的关系[29]。当Af(奥氏体转变结束温度)略低于测试温度时,加载时应力诱发产生α"相,卸载时发生α"相→β相转变,应力诱发相变对应的应变能够完全回复,此时合金表现出超弹性。当测试温度处于As(奥氏体转变初始温度)和Af之间时,卸载时部分发生α"相→β相转变,部分发生应变回复,合金表现出一定的超弹性;当测试温度低于As时,应力诱发的马氏体相变应变在测试温度下不会自动回复,合金不具有超弹性[10]

为了保证合金具有超弹性,合金中应存在β相,受力σ需满足:σCSS>σ>σSIM。为达到这一要求,合金可进行形变热处理,如Ti-26Nb合金[23]、Ti-22Nb-6Ta合金[30]、Ti-22Nb-6Zr合金[31]分别进行形变热处理后,依次获得3.0%、3.3%、4.9%的最大恢复应变。将Ti-26Nb合金中的Nb置换为Zr后得到Ti-20Nb-6Zr合金[32],并进行短时间时效处理,可以发现Zr有效地降低了σSIM值,恢复应变高达3%,马氏体临界应力达到400 MPa以上。Ti-24Nb-xZr合金[33]中,Zr对非热ω相的析出具有抑制作用。然而,在300 ℃下退火100 h后,Zr似乎不会抑制时效产物等温ω相的形成,可能在短时间内延迟等温ω相沉淀,并且不影响相稳定性。

固溶态Ti-16Nb合金[11]经冷轧变形(80%),退火(退火制度为700 ℃/30 min)处理后,冷变形引入位错,导致局部内应力场的形成,进而导致马氏体变体择优取向,减少了半共格界面的数量,提高界面可动性。残余位错还可以降低马氏体再取向外加应力,避免引入不可逆应变,从而使得合金获得5%的恢复应变。

若想要形状记忆合金在室温下发挥出最好的超弹性,应保证其Ms控制在室温以下20~30 ℃。固溶态和固溶冷轧态下的Ti-18Nb-9Zr合金[34]Ms偏高,室温拉伸后几乎没有超弹性,如表1所示。但Ti-18Nb-9Zr合金经过冷轧、550 ℃退火10 min后,其Ms在室温附近,合金内β相的稳定性较低,其超弹性显著改善。该合金在45°方向经过循环应变处理后可获得的最大恢复应变可达2.8%,屈服强度可达400 MPa。

表 1 TNZ合金形变热处理后的超弹性和力学性能 Tab. 1 Superelasticity and mechanical properties of TNZ alloys after thermomechanical treatment

降低合金的σSIM可以改善合金超弹性。经过大塑性变形(变形量为90%)的Ti-19Nb-9Zr合金在700 ℃/10 min短时间退火处理后表现为“双阶段屈服”[24]:第一阶段与内部析出大量的α″相有关,主要是因为该合金发生了马氏体再取向以及应力诱发马氏体相变;第二阶段与塑性变形的起始点有关。然而Ti-19Nb-9Zr合金在80 min较长时间的退火处理后,获得了非常细小的非热ω相沉淀,抑制了马氏体转变,其在拉伸变形后却表现出“单阶段屈服”,可见,ω相不利于合金产生形状记忆效应。经短时间退火处理(700 ℃/10 min)后,Ti-19Nb-9Zr合金内β、α″相共存,有助于其预应变达到8%时获得3.8%的完美形状记忆效应。

提高合金的σCSS,改善合金超弹性。Ti-20Nb-6Zr合金[35]进行短时间退火(600 ℃/6 min)处理,其微观组织主要由β相、α相以及等温ω相构成。短时间退火产生的β相几乎发生完全再结晶,获得尺寸为1 μm左右的晶粒,对位错运动的形成和扩散有抑制作用,而细小等温ω相的析出增加了位错滑移的临界应力。此外,短时间热处理不仅在一定程度上限制了β相稳定元素的外扩散生长,还能使α相的体积分数很小,并保证β相、α相之间溶质分配的幅度较小。这些综合效应使得合金获得合适的Ms,从而促进其获得3.2%的恢复应变和750 MPa的高抗拉强度。Ti-(22~25)Nb合金[23]经固溶处理后表现出形状记忆效应。冷轧态Ti-(25.5~27.0)Nb合金[10]经过中温退火(600 ℃/10 min)+时效处理(300 ℃/1 h),σcss增加,抗拉强度提高,超弹性也得到增强。

合金经大变形轧制后,冷轧织构和再结晶织构强度得以提高[36],再结合短时间热处理,获得细小β晶粒,大幅度地增加位错滑移的临界应力,尽可能避免其他相(ω或α相)的生长来保持β相化学稳定性,有助于改善TNZ合金的超弹性。部分TNZ合金形变热处理后的超弹性和力学性能,如表1所示。

2.2 形状记忆效应

形状记忆效应是发生可逆马氏体相变引起的恢复。这种相变依存于应力的存在,一旦应力消失,应变也随之消失。在应力作用下,马氏体相变时的热力学条件会发生改变。若合金在室温下变形,发生应力诱发马氏体相变,同时在加热时发生马氏体的逆相变,则该合金具有形状记忆效应。

20世纪70年代,Ti-Nb二元合金中的形状记忆效应首次被Baker等[37]研究发现,这为Ti-Nb基形状记忆合金的发展奠定了基础。孙斌等[11]研究发现,Ti-16Nb合金在室温下的恢复应变为3.5%,而经冷轧变形(80%)及退火(700 ℃/30 min)处理后,恢复应变为5%。邓辉等[38]研究了Ti-22Nb-6Zr合金进行热处理后的性能,合金在不同温度下进行10 min的固溶处理,并在水中快速冷却。如图8所示,固溶处理温度提高,合金内的淬火空位和位错发生显著地交互作用,使得合金的母相得到强化。母相难以发生塑性滑移,即σCSS得到了提高,即提高了TNZ合金的固溶温度,改善了合金的形状记忆效应。Kim等[13]对Ti-22Nb-(2~8)Zr合金的形状记忆效应进行了系统性研究。Ti-Nb-Zr合金具有良好的冷加工性能,冷轧后的Ti-Nb-Zr合金也表现出良好的形状记忆效应。Ti-22Nb-(4~6)Zr合金可获得高达约4.3%的最大恢复应变,形状记忆恢复应变高达2.8%。比Ti-26Nb合金的最大恢复应变高约1.3%左右。说明添加Zr可以有效改善合金的形状记忆效应。

图 8 固溶处理温度对回复率的影响[38] Fig. 8 Effect of solution-treatment temperature on recovery rate[38]
2.3 弹性模量

钛合金中各相的弹性模量大小[21]:ω>α>α′>α″>β。一般情况下,为了达到降低β钛合金弹性模量的目的,在合金设计之初就要适度降低合金中β相稳定元素含量。但是,随着β相稳定元素含量的降低,β相的稳定性也会随之降低,因此会使得β相在淬火过程中发生分解,生成α″相,从而导致合金弹性模量升高。可以发现,合金中的马氏体相变影响β钛合金的弹性模量[39-41]。根据d-电子设计理论,为了获得优良的综合性能,钛合金应符合以下参数条件[42]:(1)合金的价电子浓度(e/a)为4.24左右;(2)${{\bar Bo}}$值大于2.87;(3)${{\bar Md}}$值近似为2.45。

生物医用替代材料必须具有较低的弹性模量,为达到这一要求,TNZ合金中的β相必须有一定的稳定性[43-46]。只有保证TNZ合金中的Nb含量选在一个相对较高的范围,室温时才能抑制非平衡相α″和ω相的析出[34]

对Ti-13Nb-13Zr合金[47]进行固溶处理,并在水中快速冷却,随之采用新型冷径轧制工艺进行冷轧,抑制了α′相向α+β相的转变。α′相的存在有利于降低合金的弹性模量,而高密度位错的存在则会促进晶界强化,弥补α相沉淀硬化造成的不利影响。表2所示为TNZ合金形变热处理后的弹性模量,突破了生物医学植入用低成本TNZ合金的弹性模量极限(67 GPa)。Ti-25Nb-25Zr合金[48]经过冷轧后,实现细晶强化和弥散强化,再结合时效处理,合金的弹性模量为74 GPa。冷轧态Ti-25Nb-25Zr合金[49]在400 ℃下退火60 min后没有出现再结晶效应,但是在600 ℃下退火后形成了尺寸为9 μm左右的等轴再结晶晶粒,随着退火温度的升高,晶粒逐渐长大。在1 000 ℃下进行退火处理,获得的晶粒不仅粗化,还产生择优取向。因此,冷轧态的Ti-25Nb-25Zr合金在400 ℃退火60 min下可以获得优异的性能,表现出高达1 350 MPa的抗拉强度。

表 2 TNZ合金形变热处理后的弹性模量 Tab. 2 Elastic moduli of TNZ alloys after thermomechanical treatment

通过控制热机械处理的工艺参数,来调整亚稳β钛合金的弹性模量和抗拉强度。Ti-26Nb-4Zr合金具有优异的冷轧性能,可以进行变形量在93%以上的冷轧处理[34]。Ti-26Nb-4Zr合金经过冷轧、固溶处理(800 ℃/0.5 h/水冷)以及双时效处理(350 ℃/4h+450 ℃/24 h/AC)后,抗拉强度达到710 MPa,弹性模量达到60 GPa。同时,合金的塑性也得到改善。Ti-36Nb-5Zr合金[51]经过冷轧(变形量为87%)和退火处理(400 ℃/20 min)后,获得了较低的弹性模量(约57 GPa)和较高的强度,其中,屈服强度为820 MPa,抗拉强度为950 MPa。Ti-34Nb-25Zr合金[52]经过固溶处理(890 ℃/60 min)、冷轧(变形量为86%)和退火处理(890 ℃/60 min)后,获得的弹性模量为66 GPa,屈服强度为786 MPa,抗拉强度为810 MPa。

3 结 论

(1)β型TNZ合金因具有优异的生物相容性、耐腐蚀性、无磁性等特性,广泛地应用于生物医用材料领域。Nb、Zr的熔点高,该类合金熔炼难度较高,工艺成本也随之增加,因而合金的应用范围存在一定的局限性。

(2)通过合理控制形变热处理工艺,TNZ合金不仅能够实现强韧化,也发生了可逆热弹性马氏体转变,表现出一定的超弹性和形状记忆效应,进一步拓宽了生物医用范围。

(3)TNZ合金通过大变形冷轧处理,结合短时热处理,有望兼具优异的超弹性效应和优越的强度。

(4)在合金板材、棒材等型材的工程化方面,TNZ合金有一定的提升空间,生产性能稳定且满足需求的批量化产品仍是亟待解决的问题。

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